第三,连接层。
逻辑闸上面还有一层连接层,不会有太复杂的构造,这一层的目的是将逻辑闸需要连接的部分相连在一起,相当于导线。
芯片中通常需要很多层连接层,是因为有太多线路要连结在一起,在单层无法容纳所有的线路下,就要多叠几层来达成这个目标了。在这之中,不同层的线路会上下相连以满足接线的需求。
如果要以油漆喷罐做精细作图时,我们需先割出图形的遮盖板,盖在纸上,接着再将油漆均匀地喷在纸上,待油漆乾后,再将遮板拿开。
不断的重复这个步骤后,便可完成整齐且复杂的图形。制造IC就是以类似的方式,藉由遮盖的方式一层一层的堆叠起来。
芯片在制造过程中分为四种步骤,虽然实际制造时,制造的步骤会有差异,使用的材料也有所不同,但是大体上皆采用类似的原理。
这个流程和油漆作画有些许不同,IC制造是先涂料再加做遮盖,油漆作画则是先遮盖再作画。
第一步,金属溅镀:将欲使用的金属材料均匀洒在晶圆片上,形成一薄膜。
第二步,涂布光阻:先将光阻材料放在晶圆片上,透过光罩,将光束打在不要的部分上,破坏光阻材料结构。接着,再以化学药剂将被破坏的材料洗去。
第三步,蚀刻技术:将没有受光阻保护的硅晶圆,以离子束蚀刻。
第四步,光阻去除:使用去光阻液皆剩下的光阻溶解掉,如此便完成一次流程。
最后便会在一整片晶圆上完成很多IC芯片,接下来只要将完成的方形IC芯片剪下,便可送到封装厂做封装。